茂莱光学公司在DUV光学领域的具有强大技术经验和能力,包括超光滑高精度面形精修能力,表面清洁技术和低应力镀膜技术 ,为半导体行业提供了符合要求的光学解决方案。
产品特点包括:
· 大口径光学元件:满足半导体制造中对大口径光学元件的需求。
· 复杂几何结构:能够处理复杂的几何结构,以适应多样化的应用场景。
· 洁净室设施:在洁净室环境中进行生产和加工,确保光学元件的洁净度和表面质量。
· 低损耗抛光和镀膜技术:拥有独特的低损耗抛光技术和镀膜工艺,减少光学元件在使用过程中的损耗,延长使用寿命。
· 长寿命:生产的光学元件使用寿命具备耐用性和可靠性。
· 陡峭表面的镀膜均匀性控制:在具有挑战性的陡峭表面上实现镀膜均匀性控制,保证光学性能的一致性。
这些技术和产品的应用,使得茂莱光学在DUV光学领域具有强大的竞争力,为半导体行业的发展提供了重要的技术支持。